當前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 膜厚儀 > 光學(xué)相干斷層掃描
產(chǎn)品分類
Product Category相關(guān)文章
Related ArticlesQuickOCT-4D™ 將單點可見光光譜域光學(xué)相干斷層掃描 (SD-OCT) 傳感器與高速納米編碼的 X/Y/Z 運動控制平臺相結(jié)合,可以在高達 66 kHz 的單次測量中捕獲透明薄膜樣品中每層的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高達 100μm)和軸向分辨率 (5nm) 針對半導(dǎo)體、生命科學(xué)和制藥行業(yè)的多層透明薄膜、平面基板和功能層的測量進行了優(yōu)化。