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晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)中的切割槽深度與寬度檢測(cè)技術(shù)
2024-12-18

在半導(dǎo)體制造業(yè)中,晶圓作為芯片的基礎(chǔ)材料,其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)已成為確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。其中,切割槽的深度與寬度檢測(cè)是評(píng)估晶圓加工精度和完整性的一項(xiàng)重要指標(biāo)。切割槽是在晶圓...

  • 2022-02-14

    硬化涂層膜厚儀是一款快速、準(zhǔn)確測(cè)量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案,要求的光斑尺寸小到幾個(gè)微米,如微圖案表面,粗糙表面及許多其他表面。它可以配備一臺(tái)計(jì)算機(jī)控制的XY工作臺(tái),使其快速、方便和準(zhǔn)確地描繪樣品的厚度和光學(xué)特性圖。工作原理:本產(chǎn)品采用電磁感應(yīng)法測(cè)量涂層的厚度。位于部件表面的探頭產(chǎn)生一個(gè)閉合的磁回路,隨著探頭與鐵磁性材料間的距離的改變,該磁回路將不同程度的改變,引起磁阻及探頭線(xiàn)圈電感的變化。利用這一原理可以精確地測(cè)量探頭與鐵磁性材料間的距離,即涂層厚度。硬化涂層膜厚儀的符合...

  • 2022-02-10

    去膠工藝是微加工過(guò)程中一個(gè)重要的過(guò)程,在電子束曝光,紫外曝光等微納米加工工藝后,都要對(duì)光刻膠進(jìn)行去除或打底膜處理。光刻膠是否去除干凈對(duì)樣片是否有損傷等問(wèn)題,將直接影響后續(xù)工藝的順利完成。等離子去膠性能出色的組件和軟件,可對(duì)工藝參數(shù)進(jìn)行精確控制。它的工藝監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)采集軟件可實(shí)現(xiàn)嚴(yán)格的質(zhì)量控制。該技術(shù)已經(jīng)成功的應(yīng)用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學(xué)器件、光電、EMS/MOEMS、生物器件、LED等領(lǐng)域。產(chǎn)品具有去膠快速*;對(duì)樣片無(wú)損傷;操作簡(jiǎn)單安全;設(shè)計(jì)緊湊美觀;產(chǎn)品性?xún)r(jià)比高等...

  • 2022-01-23

    紅外激光測(cè)厚儀是用來(lái)測(cè)量材料及物體厚度的儀表,它常用來(lái)連續(xù)或抽樣測(cè)量鋼板、鋼帶、薄膜、紙張、金屬箔片等材料等產(chǎn)品的厚度。目前國(guó)內(nèi)廠家普遍采用人工測(cè)量和控制的方法來(lái)管控板材的厚度,這存在著測(cè)量精度差的、成材率低等弊端,因此采用專(zhuān)業(yè)的測(cè)厚儀來(lái)能有效地改善測(cè)控環(huán)境,提高生產(chǎn)效率、提高成材率和產(chǎn)品質(zhì)量。目前本產(chǎn)品主要應(yīng)用于鋰電池正、負(fù)極涂布、鋰電池正、負(fù)極輥壓的厚度測(cè)量,以實(shí)際情況為例,使用時(shí),可放置激光測(cè)厚儀于銀壓后和收卷前,在具有極片張力波動(dòng)和銀壓機(jī)振動(dòng)的復(fù)雜工況下測(cè)量設(shè)備使用浮...

  • 2022-01-18

    電容式位移傳感器具有一般非接觸式儀器所共有的無(wú)磨擦、無(wú)損磨和無(wú)惰性特點(diǎn)外,還具有信噪比大,靈敏度高,零漂小,頻響寬,非線(xiàn)性小,精度穩(wěn)定性好,抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)。在國(guó)內(nèi)研究所,高等院校、工廠和軍工部門(mén)得到廣泛應(yīng)用,成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種*的測(cè)試儀器。應(yīng)用范圍:主要用于解決下述各種測(cè)量問(wèn)題:壓電微位移、振動(dòng)臺(tái),電子顯微鏡微調(diào),天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào),精密微位移測(cè)量等。性能:電容式位移傳感器的電容器極板多為金屬材料,極板間襯物多為無(wú)機(jī)材料,如空氣、玻璃、陶瓷、石英...

  • 2022-01-13

    折射率測(cè)量?jī)x是利用周?chē)饩€(xiàn)進(jìn)行測(cè)量,不用電池和任何電源,它適合在實(shí)驗(yàn)室或野外使用,取一滴樣品滴到棱鏡中,并讀取數(shù)值就可以了。他的手柄具有橡皮涂層,可與測(cè)量溶液*隔離,可避免使用者自身熱量的散發(fā)使測(cè)量值出現(xiàn)誤差。我們所有的折射計(jì)產(chǎn)品都具有自動(dòng)溫度補(bǔ)償功能:在10°C-30°C時(shí),如自動(dòng)溫度補(bǔ)償設(shè)定為20°C,那么他會(huì)自動(dòng)調(diào)整溫度,也可以利用蒸餾水重新校準(zhǔn),產(chǎn)品裝配專(zhuān)用塑料盒子和校準(zhǔn)起子。測(cè)量原理:通過(guò)測(cè)量棱鏡的折射角確定光學(xué)材料的折射率,講反射鏡式平行光管安裝在氣動(dòng)軸承上,利用...

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