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Product Category美國FSM 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備:在襯底鍍上不同的薄膜后, 因?yàn)閮烧卟馁|(zhì)不一樣,以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會引起應(yīng)力。 如應(yīng)力太大會引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應(yīng)力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應(yīng)力, 是品檢及改進(jìn)工藝的有/效手段。
美國FSM 高溫薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備:美國FSM成立于1988年,總部位于圣何塞,多年來為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設(shè)備。
StrainScope Flex可調(diào)式實(shí)時應(yīng)力儀 產(chǎn)品具有測量速度快、精度高、重復(fù)性好等特點(diǎn),對大尺寸樣品可拼接測量。其應(yīng)力測量設(shè)備用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應(yīng)用領(lǐng)域包括光學(xué)材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。
實(shí)時型StrainScope S3/S4 應(yīng)力儀 產(chǎn)品具有測量速度快、精度高、重復(fù)性好等特點(diǎn),對大尺寸樣品可拼接測量。其應(yīng)力測量設(shè)備用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應(yīng)用領(lǐng)域包括光學(xué)材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。
拼接型StrainMatic stepper應(yīng)力儀 產(chǎn)品具有測量速度快、精度高、重復(fù)性好等特點(diǎn),對大尺寸樣品可拼接測量。其應(yīng)力測量設(shè)備用戶廣,用戶包括肖特、卡爾-蔡司、JENOPTIK、Saint-Gbbain、Euro-Glass等著名公司。應(yīng)用領(lǐng)域包括光學(xué)材料、醫(yī)用包裝材料、高分子類密封材料等。
德國ilis公司成立于1998年,專業(yè)研發(fā)制造高精度應(yīng)力雙折射分析軟件與測量設(shè)備,薄膜應(yīng)力測試儀采用成像式光彈原理,直接測量光延遲,可以快速給出高分辨率的高精度測量結(jié)果。