當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 應(yīng)力測量 > FSM應(yīng)力儀
產(chǎn)品分類
Product Category美國FSM 薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備:在襯底鍍上不同的薄膜后, 因為兩者材質(zhì)不一樣,以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會引起應(yīng)力。 如應(yīng)力太大會引起薄膜脫落, 引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應(yīng)力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應(yīng)力, 是品檢及改進工藝的有/效手段。
美國FSM 高溫薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備:美國FSM成立于1988年,總部位于圣何塞,多年來為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設(shè)備。